光刻機
29億元!Intel曬史上最貴開箱:全球首臺高NA光刻機已裝機
除瞭Intel,三星、臺積電、SK海力士也都訂購瞭高NA EUV光刻機,首批訂單有數十臺。
英特爾High NA EUV光刻機2024年晚些時候投入研發工作,有望在三代節點沿用
菲利普斯預測光刻技術的名義尺度會突破到1nm以下量級。