臺積電今明兩年將接收超60臺EUV光刻機 投入超過123億美元

按照臺積電（TSMC）的安排，將在2nm制程節點將首度使用Gate-all-around FETs（GAAFET）晶體管，同時制造過程仍依賴於極紫外（EUV）光刻技術，計劃2025年進入大批量生產階段，客戶在2026年就能收到首批采用N2工藝制造的芯片。

據Trendforce報道，有報告顯示，臺積電正在積極安裝對於先進工藝至關重要的EUV光刻機，以應付2nm工藝的量產，今年和明年將接收超過60臺EUV光刻機，投入的資金額超過4000億新臺幣（約合123億美元/人民幣894億元）。

隨著ASML不斷擴大產能，預計2025年EUV光刻機的交付量將增長30%以上，臺積電也會因此受益。去年ASML為瞭響應客戶的需求計劃增產，明年的EUV光刻機交付量會有明顯增長，預計今年為53臺，明年增至72臺以上。據瞭解，ASML在2025年的目標產能為90臺EUV光刻機、600臺DUV光刻機、以及20臺High-NA EUV光刻機。

EUV光刻機的供應一直很緊張，交貨時間在16至20個月之間，2024年的訂單大部分要到2025年才能交付。傳聞臺積電2024年訂購瞭30臺EUV光刻機，2025年為35臺。不過由於臺積電可能會對資本支出計劃進行調整，這些數字最終會略有變化。此外，臺積電有望在今年某個時候接受到最新的High-NA EUV光刻機。