29億元！Intel曬史上最貴開箱：全球首臺高NA光刻機已裝機
除瞭Intel，三星、臺積電、SK海力士也都訂購瞭高NA EUV光刻機，首批訂單有數十臺。
龐然大物
英特爾High NA EUV光刻機2024年晚些時候投入研發工作，有望在三代節點沿用
菲利普斯預測光刻技術的名義尺度會突破到1nm以下量級。
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